奇昇净化科技（苏州）有限公司-pg电子娱乐平台

半导体 tco方案

半导体行业ffu

奇昇致力于顶尖半导体科技的洁净室设备研发与生产，为客户提供最合理有效的洁净空气整体c7娱乐麻将胡了的解决方案，使我们的客户达到提升制程良率、降低能耗，节约成本的效果。产品和服务覆盖多个微电子行业。

封装/测试行业ffu

面板行业ffu

半导体化学滤网

面板化学滤网

制程设备化学滤网

新风系统mau化学滤网

新风系统mau初中高效滤网

高效超高效过滤器更换

制程用efu

十大品类c7娱乐麻将胡了的解决方案

随着集成电路（ic）制造中功能尺寸的不断缩小，amc的控制要求也越来越严格。自1955年以来，semi（国际半导体设备与材料产业协会）一直在研究amc对微电子制造过程的影响。在semi标准 f21-1102中将amc其分为ma（分子酸类）、mb（分子碱基类）、mc（分子有机凝剂）和md（植入参杂类）这四类标准，并严格规范了各类amc的污染浓度分级，其污染浓度单位以摩尔体积表示（ppb或ppt）。

amc浓度控制

外部环境

无尘室

· 外气空调箱进气口与烟囱位置考量水洗设备

· 化学滤网安装

· 排气设备与分类

· 烟囱高度及位置规划

· 水系设备效率改善

决定排至外界环境之厂内污染物浓度、种类与方向

•设备机台布置规划

•净房内气流分析

•工程amc管制与工法改善

•气流模拟避免交叉污染

•区隔维修与生产区域

•amc紧急应变设施及程序制定

•维修保养工法改善

•气候因素

•气流模拟

•附近空气采样分析

•周边厂房或设施调查

•建筑规划

决定进入洁净室空气质量

在无尘室的内外都存在amc污染源，在实际控制方案中需要了解amc的来源和特性，进行最合理的方案设计。外部空气（oa）中的amc在进入洁净室前会经过mau进行预处理，在mau中配备智能水洗装置（90%）和化学过滤器（90%）两级过滤装置，以mac浓度50ppv的外气为例，控制进入fab的amc浓度在符合规范的1ppb以下。

n：c/r内污染物浓度[μg/m3] m：mau供风污染物浓度[μg/m3] k：c/r空气循环次数[次/hr] v：c/r室内体积[m3] g：c/r内污染物产生率[μg/hr] a：滤网过滤效率 s：mau供风占ffu循环风比例

对于amc浓度要求严苛的fab，可在ffu设备端以及efu制程设备端配备化学过滤器，可进一步控制amc的浓度。

提升制程良率、降低生产成本

精确/实时/自动化