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通过在线监测系统实时监测mau出风口、ffu入风口、制程区以及设备逸散处等区域的amc浓度，并通过下列计算公式计算出cleanroom的amc污染浓度，以此为依据选择最合适的设备来去除amc。
n : c/r内污染物浓度 [μg/m3]
m : mau供风污染物浓度 [μg/m3]
k : c/r空气循环次数 [次/hr]
v : c/r室内体积 [m3]
g : c/r内污染物产生率 [μg/hr]
a : 滤网过滤效率
s : mau供风占ffu循环风比例
①  初效过滤器
②  袋式过滤器
③  智能水洗设备
④  化学过滤器
⑤  v型过滤器
⑥  ffu
⑦  高效/超高效过滤器
⑧  hepa box
⑨  efu
⑩  tcu
⑪  tau
⑫  amc在线监测
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